Xem bài chính quang thạch bản.

Công nghệ chế tạo vi mạch bán dẫn áp dụng các phương pháp của in thạch bản. Phương pháp in thạch bản cũng dùng cho các ứng dụng MEMS, vì có khả năng tạo các chi tiết có kích cỡ micrômét trên một bề mặt rộng. Trong chế tạo bán dẫn, công nghệ này hay áp dụng cho bề mặt silíc, nhưng một số vật liệu khác cũng được dùng. Lĩnh vực này đã có quang thạch bản phi quang bản mới xuất hiện.